基于差动电容式传感器的位移测量系统的设计与研究文献综述

文献综述

文 献 综 述1、课题背景无论是在工业工程上还是在日常的生活生产中，位移传感器都是不可或缺的一部分，它通常用于测量实物尺寸或者是机械位移。

位移传感器一般分为两种，分别是数字式与模拟式，常用的模拟式中有电感式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器以及电容式位移传感器等。

在本文中，主要采用差动电容式传感器来进行位移测量系统的设计与研究。

电容式位移传感器是一种非接触式的精密仪器，它具有结构简单、成本小、灵敏度高、零漂小、灵敏度高、频响宽、抗电磁干扰能力强等优点，适用于对小位移、直线位移，同时也适用于能够转化为位移的一些物理量的测量，如力、物位变化等，应用范围广泛。

而差动式电容传感器往往具有输出信号小，非线性测量的缺点。

本课题着重以解决这些问题为出发点，改善缺陷，设计合理的非线性校正系统。

通过曲线拟合法中的最小二乘法及最大相对误差的分析，实现非线性校正。

通过计算得出电容值与位移之间的函数关系。

并考虑差动电容式传感器的寄生电容、分布电容，采用较精密的电容检测电路来提高电容精度。