多孔氧化铝薄膜湿度传感器的敏感元件结构研究文献综述

文献综述

一、湿度传感器研究背景与发展现状湿度是用来表征空气中含水量的一个物理量。

随着社会的进步，湿度的检测和控制愈来愈重要。

湿度传感器是将水蒸气的量转换成可以测量的量的器件[1]，它被广泛应用于气象观测、工农业生产及大气环境监测等领域，其湿敏性能主要取决于湿敏材料的性质[2]。

由于应用领域不同，对湿度传感器的技术要求也不同。

在海洋气象要素观测领域，存在着陆地用气象要素湿度传感器难以适应海洋高湿、高盐雾、高腐蚀环境的问题，湿度传感器的发展远远不能满足要求。

因此，在海洋气象观测领域，研究湿敏材料微观结构、物化参数与器件性能之间的相互关系，研发湿敏性能稳定，适用于高湿、高盐雾、高腐蚀的海洋环境的湿度传感器成为该领域研究的重点和难点[2]。

在工农业生产领域，湿度传感器用于智能农业的监测中。

由于各地土壤性状各不相同，含水率也不尽相同[3]。

在土壤中设置了多层的湿度传感器，在这个过程当中，如果土壤湿度传感器长时间低于20%，这时候整个系统就会给出预警。